系统依据的相关标准:
gb/t 26250-2010 电子工业用气休 砷化氢
gc-126pdd氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以gc-126气相色谱仪为载体,配备valco公司生产的氦离子化(pdhid)检测器;采用克柔姆公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术,其中的所有进样和切换阀均为valco公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀;上述部分与valco公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析ag旗舰厅官方网站的解决方案。
高纯气体的分析是一个复杂的过程,不仅需要高灵敏的检测器,还要考虑样品本身的特性及其背景,如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节,克柔姆色谱公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点,并给出了所有难点的解决措施,使gc-126pdd氦离子化气相色谱仪成为工业气体行业的高纯气体分析系统,很好的完成了气体中微量杂质,特别是ppb级的杂质的分析。
items/检测项目一: n 2 ≤ 0.20ppm, o 2≤ 0.02 ppm , ar≤ 0.02 ppmv ,sih 4≤ 0.02ppmv;
co2≤ 0.02ppmv co≤ 0.03ppmv ,h2s ≤ 0.0 3 ppmv , c1~c2≤ 0.0 5 ppmv ,
geh4(锗烷)、 sih4(硅烷)、 ph3(磷烷)、h2s
进样与反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只;
阀体选:采用vici 316l不锈钢材质; 气路管线: 1/16或1/8采用vici 316l材质
仪器主要应用于6n砷烷气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:
气体种类 |
需分析特气的杂质种类 |
|||||||
he |
h2 |
o2/ar |
n2 |
ch4 |
co |
co2 |
h2s |
c2、sih4、 ph3、geh4、ge2h6、c3、c4 |
仪器的最小 检测限(ppb) |
5 |
5 |
5 |
5 |
15 |
5 |
20-30 |
5-10 |