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    ash3/砷烷分析氦离子气相色谱仪

    产品型号:gc-126pdd/ash3

    检测范围:ppb级别

    适用行业:

    电子工业用气体

    生产厂家:chrom technologies

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    系统依据的相关标准:

    gb/t 26250-2010 电子工业用气休 砷化氢

        gc-126pdd氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以gc-126气相色谱仪为载体,配备valco公司生产的氦离子化(pdhid)检测器;采用克柔姆公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术,其中的所有进样和切换阀均为valco公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀;上述部分与valco公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析ag旗舰厅官方网站的解决方案。
        高纯气体的分析是一个复杂的过程,不仅需要高灵敏的检测器,还要考虑样品本身的特性及其背景,如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节,克柔姆色谱公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点,并给出了所有难点的解决措施,使gc-126pdd氦离子化气相色谱仪成为
    工业气体行业的高纯气体分析系统,很好的完成了气体中微量杂质,特别是ppb级的杂质的分析

    items/检测项目一:  n 2 ≤ 0.20ppm o 2≤ 0.02 ppm ar≤ 0.02 ppmv sih 4≤ 0.02ppmv;  

                           co2≤ 0.02ppmv co≤ 0.03ppmv h2s ≤ 0.0 3 ppmv  c1c2≤ 0.0 5 ppmv

                            geh4(锗烷) sih4(硅烷) ph3(磷烷)h2s

    进样与反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只;

    阀体选:采用vici 316l不锈钢材质; 气路管线: 1/161/8采用vici 316l材质

    仪器主要应用于6n砷烷气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:

    气体种类

    需分析特气的杂质种类

    he

    h2

    o2/ar

    n2

    ch4

    co

    co2

    h2s

     c2sih4 ph3geh4ge2h6c3、c4

    仪器的最小

    检测限(ppb)

    5

    5

    5

    5

    15

    5

    20-30

    5-10

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