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    高纯硅烷分析氦离子色谱仪

    产品型号:gc-126pdd/sh4

    检测范围:ppb级别

    适用行业:

    硅烷相关行业

    生产厂家:chrom technologies

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    一、 仪器的应用范围:

    1.本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:

    气体种类

    需分析的杂质种类

    he

    h2

    o2

    ar

    n2

    co

    ch4

    co2

    c2

    c3

    simhn

    检测限(ppb)

    15

    30

    10

    50

    10

    10

    30

    30

    50

    2.仪器的详细配置(供货明细):

    仪器名称:氦离子化气相色谱仪gc-126pdd

    多柱箱系统可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要

    中心切割与反吹系统:配备3个带吹扫保护气路的valco原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。

    色谱分离系统valco原装进口,用于分离硅烷中的微量的甲硅醚;甲基硅烷;乙硅烷。可分离样品中的h2、o2(ar)、n2、co、co2、ch4等杂质,并且可以处理co拖尾

    硅烷取样系统专为高纯硅烷色谱分析设计含吹扫气路与取样气路。

    高纯气专用色谱工作站:杭州克柔姆自主开发,能自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制高效处理系统

    仪器名称

    厂家

    单位

    数量

    备注

    氦离子化气相色谱仪gc-126pdd

    上分厂/克柔姆

    1

    配备pdhid氦离子化检测器

     

    多柱箱系统

     

    上分厂/克柔姆

     

     

    1

    可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要

     

    中心切割与

    反吹系统:

    吹扫十通阀2只;

    吹扫六通阀3只.

    valco

     

     

     

     

    1

    配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。

    毛细管色谱分离系统

    valco

    1

    用于分离硅烷中的微量:

    甲硅醚;甲基硅烷;乙硅烷

    色谱柱:

    hayesep -q

    hayesep -db

    5a;硅烷毛细管柱

    valco

     

     

    6

    1.可分离样品中的h2、o2

    (ar)、n2、co、co2、ch4等杂质

    2.co拖尾处理技术

    硅烷取样系统

    克柔姆

    1

    专为高纯硅烷色谱分析设计

    含吹扫气路与取样气路。

    载气(he)纯化器:

    hp-2

    valco

    1

    he中杂质含量≤10ppb

    载气过滤器

    valco

    1

    2μm孔径

    样品过滤器

    valco

    1

    2μm孔径

    标准气体:

    (10ppm)

    克柔姆

    1

    含: h2, o2, ar, n2,

    co, ch4, co2

    高纯氦气:40l

    用户自备

    1 1

    纯度不低于99.999%

    高纯氮气:40l

    用户自备

    1

    作为valco吹扫阀的保护及驱动气使用

    无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口

    克柔姆

    4

    取样时防止空气渗入,带放空结构设计

    载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口

    horo

    2

    配:进口

    载气四通切换阀

    1/16”口

    1

    配:进口

    高纯气专用

    色谱工作站

    克柔姆

    1

    自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制

    电脑与打印机

    联想/hp

    1

    可另选配

    安装调试费:免费

    技术服务及培训费:免费(1.发货前;2.安装调试中;3.公司定期办培训班时.)

    随机备品、备件、工具、材料费(附件四):随机

     

    二.系统依据的相关标准:

    电子气标准 gb/t 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》

     

     

    技术特点:

    嵌入式32位处理器及多cpu系统开发,it接口相关技术,实现温度参数自动设置、检测器选择、检测器操作参数和数据化自动调零功能、灵敏度和极性数字化设置。
    全中文菜单操作界面,同时可显示多组参数,操作非常简单方便。
    计算机反控功能,可以通过计算机操作仪器内部所有功能(通过usb接口实现)。
    高精度计时器集8路外部事件控制, 可集成多个文件对应存储。
    无需外接工作站并提供模拟输出接口。
    氦离子化气相色谱仪
    柱温箱:
    ◆温度范围:室温加5℃- 400℃
    ◆控制精度:±0.1℃
    ◆程序升温:9阶
    ◆最大升温速率:60℃/min
    ◆双通道色谱柱流失补偿
    气体进样装置:

    ◆ 高纯、超高纯气体色谱分析用的进样装置,其特征在于包括不锈钢微量调节针阀、不锈钢气管、样品过滤器、进样阀、安全放空调节阀、不锈钢计量针阀、压力指示、流量计等;原理为取样系统串联进样阀的定量管,整个放空、恒压、稳流调节装置设计在取样管的后部,以确保定量管内的高纯、超高纯气体不受干扰;整个高纯气体取样处于样品气恒压稳流状态下,可防止空气的渗透,同时保证管内避的纯净度。
    检测器:
    ◆pdhid氦离子化检测器
      基线噪声:0.010mv
      基线漂移:0.050mv/30min
      检测限:4.74×10-12mol/mol
      定量重复性:≤1.50%

    产品的成套配置:超纯气氦离子化气相色谱仪
    仪器基本配置:
    gc-126pdd /杭州克柔姆 1台
    配备pdhid氦离子化检测器
    多柱箱系统 上分厂/ 克柔姆 1套 可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要

    中心切割与 反吹系统:吹扫十通阀;吹扫六通阀.valco /克柔姆

    配备4个带吹扫保护气路的原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、氦、氪、氙、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。

    采用vcr接头/色谱柱: hayesep q ; hayesep r ; ms 5a * 2支 克柔姆 3根 可分离样品中的h2、o2
    n2、co、co2、ch4等杂质
    载气纯化器:
    hp-2 valco 1台  杂质含量≤10ppb
    载气过滤器 valco 1个 2μm孔径
    样品过滤器 valco 1个 2μm孔径
    标准气体  1套  含:h2,o2,ar,n2,co,ch4,co2
    高纯氦气:40l 1瓶 自备 / 纯度不低于99.999%
    高纯氢气:40l 1瓶 自备 / 分析高纯氧时做为还原气使用
    高纯氮气:40l 1瓶 自备 / 作为自动阀的驱动气使用
    无死体积专用
    取样阀带吹扫 克柔姆 4个取样时防止空气渗入,带放空结构设计
    载气专用两级
    不锈钢减压阀 horo 1个  horo两级减压稳流

    高纯气色谱工作站 克柔姆 1套  自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制

    技术参数:
    gc-126pdd氦离化气相色谱仪对6种杂质的检测限(ppb)
    杂质种类      h2    o2    n2    co    ch4    co2
    检测限/ppb                          
    主要特点:
    一、 中心切割与反吹系统:
    gc-126pdd超纯气氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹系统,该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成,通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程,完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测:
    valco吹扫型十通阀:
    gc-126pdd超纯气氦离子化气相色谱仪所配备的均为原装进口valco生产的
    经特殊加工的色谱柱技术
    气体全分析流程:
    二、 hp-2氦气纯化器:
    可纯化气体:he、ar、ne、kr、xe、rn
    最大操作压力:1000psi
    去除气体:h2、o2、n2、co、co2、ch4、h2o、no、nh3、cf4等
    残留浓度:≤10ppb
    三、 无死体积取样阀 
    四、 载气专用减压阀
    五、 背压阀控制的进样技术
    六、 具备反控功能的gc-126气相色谱仪

    chrom-2010pdd色谱工作站
    其主要 性能参数及功能如下.
    硬件性能:
    1、通讯接口:usb接口
    2、高精度:24位的高精度a/d,分辨率±1uv。
    3、输入通道:外置数据采集盒,输入通道2个。
    4、输入电平范围:-2v至 2v
    5、采样频率:最多50次/秒.
    6、动态范围:106(1μv为最小单位)。
    7、积分灵敏度:1μv•sec(即面积的个位数)。
    8、线性度:<±0.1%。
    9、 重现性:0.06%。
    软件功能:
    1、 实时性:真正windows 环境下的实时数据采集,rs232接口双通道数据采集,采样同时可对采样数据实时进行分析、存储,实时显示色谱峰保留时间。可随时设定采样频率,改变峰宽,斜率,停止时间等参数。
    2、灵活的峰识别和处理能力:自动识别拖尾峰,重叠峰,锯齿峰和前后肩峰等,自动基线切割。可通过调整参数和时间程序自动重分析,可通过手动修正方式进行色谱峰的识别、删除及调整基线切割。另外可以对谱图任意重分析,放大,移动,逐点跟踪,添加组份名,谱图复制,多谱图比较,基线扣除等。
    3、轻松定性(任意多点校准):可自动或手动编辑峰鉴定表。自动计算校正因子,提供单点,任意多点平均,任意多点校正,并直观地显示校正曲线。
    4、定量方法:提供归一法,内标,外标,修正归一法,带比例的修正归一法,指数法六种常用的定量计算方法。
    5、自定义分析方法:用户针对某种样品分析而设定的方法及参数、时间程序、峰鉴定表等可以方便的保存到用户自命名的方法文件中。因此针对不同的样品可以调用不同的方法文件。
    6、多种格式数据存储:用户可以自命名保存历次分析的谱图、结果等,并且可将谱图文件,结果文件保存为文本格式或导出到excel中,利用别的作图工具重新作图或重新计算。也可直接复制谱图到剪贴板然后粘贴到用户需要的文档中。
    7、灵活的打印功能:可预览及打印谱图、结果报告、分析参数(包括峰鉴定表)等,用户可自动设置打印报告头,调整打印方式,满足您各种打印要求。
    8、操作直观便捷:简洁清晰的全中文图形界面, 方便用户顺利完成操作。

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