一、 仪器的应用范围:
1.本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:
气体种类 |
需分析的杂质种类 |
|||||||||
he |
h2 |
o2 |
ar |
n2 |
co |
ch4 |
co2 |
c2 |
c3 |
simhn |
检测限(ppb) |
15 |
30 |
10 |
50 |
10 |
10 |
30 |
30 |
50 |
2.仪器的详细配置(供货明细):
仪器名称:氦离子化气相色谱仪gc-126pdd
多柱箱系统:可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要
中心切割与反吹系统:配备3个带吹扫保护气路的valco原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。
色谱分离系统:valco原装进口,用于分离硅烷中的微量的甲硅醚;甲基硅烷;乙硅烷。可分离样品中的h2、o2(ar)、n2、co、co2、ch4等杂质,并且可以处理co拖尾
硅烷取样系统:专为高纯硅烷色谱分析设计含吹扫气路与取样气路。
高纯气专用色谱工作站:杭州克柔姆自主开发,能自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制高效处理系统
仪器名称 |
厂家 |
单位 |
数量 |
备注 |
氦离子化气相色谱仪gc-126pdd |
上分厂/克柔姆 |
台 |
1 |
配备pdhid氦离子化检测器 |
多柱箱系统 |
上分厂/克柔姆 |
套 |
1 |
可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要 |
中心切割与 反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只. |
valco |
套 |
1 |
配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。 |
毛细管色谱分离系统 |
valco |
套 |
1 |
用于分离硅烷中的微量: 甲硅醚;甲基硅烷;乙硅烷 |
色谱柱: hayesep -q hayesep -db 5a;硅烷毛细管柱 |
valco |
根 |
6 |
1.可分离样品中的h2、o2 (ar)、n2、co、co2、ch4等杂质 2.co拖尾处理技术 |
硅烷取样系统 |
克柔姆 |
套 |
1 |
专为高纯硅烷色谱分析设计 含吹扫气路与取样气路。 |
载气(he)纯化器: hp-2 |
valco |
台 |
1 |
he中杂质含量≤10ppb |
载气过滤器 |
valco |
个 |
1 |
2μm孔径 |
样品过滤器 |
valco |
个 |
1 |
2μm孔径 |
标准气体: (10ppm) |
克柔姆 |
套 |
1 |
含: h2, o2, ar, n2, co, ch4, co2 |
高纯氦气:40l |
用户自备 |
瓶 |
1 1 |
纯度不低于99.999% |
高纯氮气:40l |
用户自备 |
瓶 |
1 |
作为valco吹扫阀的保护及驱动气使用 |
无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口 |
克柔姆 |
个 |
4 |
取样时防止空气渗入,带放空结构设计 |
载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口 |
horo |
个 |
2 |
配:进口 |
载气四通切换阀 |
1/16”口 |
只 |
1 |
配:进口 |
高纯气专用 色谱工作站 |
克柔姆 |
套 |
1 |
自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制 |
电脑与打印机 |
联想/hp |
台 |
1 |
可另选配 |
安装调试费:免费 |
||||
技术服务及培训费:免费(1.发货前;2.安装调试中;3.公司定期办培训班时.) |
||||
随机备品、备件、工具、材料费(附件四):随机 |
二.系统依据的相关标准:
电子气标准 gb/t 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》
技术特点:
嵌入式32位处理器及多cpu系统开发,it接口相关技术,实现温度参数自动设置、检测器选择、检测器操作参数和数据化自动调零功能、灵敏度和极性数字化设置。
全中文菜单操作界面,同时可显示多组参数,操作非常简单方便。
计算机反控功能,可以通过计算机操作仪器内部所有功能(通过usb接口实现)。
高精度计时器集8路外部事件控制, 可集成多个文件对应存储。
无需外接工作站并提供模拟输出接口。
氦离子化气相色谱仪
柱温箱:
◆温度范围:室温加5℃- 400℃
◆控制精度:±0.1℃
◆程序升温:9阶
◆最大升温速率:60℃/min
◆双通道色谱柱流失补偿
气体进样装置:
◆ 高纯、超高纯气体色谱分析用的进样装置,其特征在于包括不锈钢微量调节针阀、不锈钢气管、样品过滤器、进样阀、安全放空调节阀、不锈钢计量针阀、压力指示、流量计等;原理为取样系统串联进样阀的定量管,整个放空、恒压、稳流调节装置设计在取样管的后部,以确保定量管内的高纯、超高纯气体不受干扰;整个高纯气体取样处于样品气恒压稳流状态下,可防止空气的渗透,同时保证管内避的纯净度。
检测器:
◆pdhid氦离子化检测器
基线噪声:0.010mv
基线漂移:0.050mv/30min
检测限:4.74×10-12mol/mol
定量重复性:≤1.50%
产品的成套配置:超纯气氦离子化气相色谱仪
仪器基本配置:
gc-126pdd /杭州克柔姆 1台
配备pdhid氦离子化检测器
多柱箱系统 上分厂/ 克柔姆 1套 可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度,以满足样品分离的需要
中心切割与 反吹系统:吹扫十通阀;吹扫六通阀.valco /克柔姆
配备4个带吹扫保护气路的原装进口阀:一次进样,无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、氦、氪、氙、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。
采用vcr接头/色谱柱: hayesep q ; hayesep r ; ms 5a * 2支 克柔姆 3根 可分离样品中的h2、o2
n2、co、co2、ch4等杂质
载气纯化器:
hp-2 valco 1台 杂质含量≤10ppb
载气过滤器 valco 1个 2μm孔径
样品过滤器 valco 1个 2μm孔径
标准气体 1套 含:h2,o2,ar,n2,co,ch4,co2
高纯氦气:40l 1瓶 自备 / 纯度不低于99.999%
高纯氢气:40l 1瓶 自备 / 分析高纯氧时做为还原气使用
高纯氮气:40l 1瓶 自备 / 作为自动阀的驱动气使用
无死体积专用
取样阀带吹扫 克柔姆 4个取样时防止空气渗入,带放空结构设计
载气专用两级
不锈钢减压阀 horo 1个 horo两级减压稳流
高纯气色谱工作站 克柔姆 1套 自动控制切割、反吹、进样等过程;并实现对色谱主机的操作控制
技术参数:
gc-126pdd氦离化气相色谱仪对6种杂质的检测限(ppb)
杂质种类 h2 o2 n2 co ch4 co2
检测限/ppb 1 1 1 5 1 1
主要特点:
一、 中心切割与反吹系统:
gc-126pdd超纯气氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹系统,该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成,通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程,完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测:
valco吹扫型十通阀:
gc-126pdd超纯气氦离子化气相色谱仪所配备的均为原装进口valco生产的
经特殊加工的色谱柱技术
气体全分析流程:
二、 hp-2氦气纯化器:
可纯化气体:he、ar、ne、kr、xe、rn
最大操作压力:1000psi
去除气体:h2、o2、n2、co、co2、ch4、h2o、no、nh3、cf4等
残留浓度:≤10ppb
三、 无死体积取样阀
四、 载气专用减压阀
五、 背压阀控制的进样技术
六、 具备反控功能的gc-126气相色谱仪
chrom-2010pdd色谱工作站
其主要 性能参数及功能如下.
硬件性能:
1、通讯接口:usb接口
2、高精度:24位的高精度a/d,分辨率±1uv。
3、输入通道:外置数据采集盒,输入通道2个。
4、输入电平范围:-2v至 2v
5、采样频率:最多50次/秒.
6、动态范围:106(1μv为最小单位)。
7、积分灵敏度:1μv•sec(即面积的个位数)。
8、线性度:<±0.1%。
9、 重现性:0.06%。
软件功能:
1、 实时性:真正windows 环境下的实时数据采集,rs232接口双通道数据采集,采样同时可对采样数据实时进行分析、存储,实时显示色谱峰保留时间。可随时设定采样频率,改变峰宽,斜率,停止时间等参数。
2、灵活的峰识别和处理能力:自动识别拖尾峰,重叠峰,锯齿峰和前后肩峰等,自动基线切割。可通过调整参数和时间程序自动重分析,可通过手动修正方式进行色谱峰的识别、删除及调整基线切割。另外可以对谱图任意重分析,放大,移动,逐点跟踪,添加组份名,谱图复制,多谱图比较,基线扣除等。
3、轻松定性(任意多点校准):可自动或手动编辑峰鉴定表。自动计算校正因子,提供单点,任意多点平均,任意多点校正,并直观地显示校正曲线。
4、定量方法:提供归一法,内标,外标,修正归一法,带比例的修正归一法,指数法六种常用的定量计算方法。
5、自定义分析方法:用户针对某种样品分析而设定的方法及参数、时间程序、峰鉴定表等可以方便的保存到用户自命名的方法文件中。因此针对不同的样品可以调用不同的方法文件。
6、多种格式数据存储:用户可以自命名保存历次分析的谱图、结果等,并且可将谱图文件,结果文件保存为文本格式或导出到excel中,利用别的作图工具重新作图或重新计算。也可直接复制谱图到剪贴板然后粘贴到用户需要的文档中。
7、灵活的打印功能:可预览及打印谱图、结果报告、分析参数(包括峰鉴定表)等,用户可自动设置打印报告头,调整打印方式,满足您各种打印要求。
8、操作直观便捷:简洁清晰的全中文图形界面, 方便用户顺利完成操作。